產品特性：

• 采用先進的微電子和微機械加工相結合的工藝技術
• 產品精度優于0.075%FS

應用范圍：

• 帶動了傳感器、變送器及相關儀表產業的發展

國機集團所屬沈陽儀表院承擔的沈陽市高新技術產業發展計劃項目“高性能硅電容壓力傳感器”近日順利通過驗收。

該項目采用先進的微電子和微機械加工相結合的工藝技術，在硅電容傳感器設計、制造工藝技術、傳感器封裝結構等方面具有創新性，解決了硅電容傳感器研制的工藝技術難題，開發研制出完全擁有自主知識產權的新型高性能硅電容差壓傳感器產品，產品精度優于0.075%FS，技術水平達到國內領先、國際一流。

項目建成了年生產能力一萬臺的硅電容差壓傳感器生產線，實現了產品的系列化生產，并首次實現智能變送器產品核心傳感器的國產化配套，打破了國外的技術封鎖，填補了國內空白。同時，作為上游核心器件，該項研究帶動了傳感器、變送器及相關儀表產業的發展，解決了有表無芯的問題，有效地支撐了高端裝備制造產業鏈建設。