產品特性：

• 是一系列非接觸電容式間隙和平行度傳感器系統 
• 涂布機間隙一致性優于0.25um，在整個涂布模長度范圍內間隙小到110um
• 測量工藝過程中CVD涂鍍頭和金屬載體輥筒間的間距，溫度可達600°C

適用范圍：

• 太陽能面板市場
• 硅層上CVD法沉積薄膜的過程中，以及處理額外層和玻璃面板與反射背板間光伏組件的密封

Capacitec Inc. (馬薩諸塞州Ayer) 首次面向太陽能面板市場推出了一系列非接觸電容式間隙和平行度傳感器系統。這些系統測量太陽能面板生產過程中液體、抗反射涂層和CVD（化學氣相沉積）層涂鍍頭到媒介間的精確距離，能幫助制造商保持薄膜鍍層一致性，提高成品率和效率。

Capacitec是太陽能市場的新進者，該公司在為半導體制造設備提供測量技術和為OEM及終端用戶設計狹縫口模涂布機的窄隙測量系統上擁有超過15年的經驗。借助其在液體涂布市場的產品，Capacitec開發了這些系統，獲得涂布機間隙一致性優于0.25um，在整個涂布模長度范圍內間隙小到110um。

在薄膜光伏面板制造中，Capacitec的系統用于在硅層上CVD法沉積薄膜的過程中，以及處理額外層和玻璃面板與反射背板間光伏組件的密封。

在柔性太陽能面板中，CVD涂布機用于透明導電氧化物（TCO）的生產中。平行度傳感器系統用來測量工藝過程中CVD涂鍍頭和金屬載體輥筒間的間距，溫度可達600°C。